MI Series | Metal mask inspection
신일 FI의 MI Series는 Optical(Vision) System을 이용하여 메탈 마스크의 개구부를 자동으로 검사하여 검사공정의 표준화, 품질의 일괄성에 따른 제품의 신뢰성을 확보, 그 결과에 대하여 DB 생성 및 불량을 관리할 수 있습니다.
Features
Inspection/Detection
Metal Mask의 개구부를 Vision system을 이용하여 제품의 최종 외관 상태, 면적, 위치 불량을 GB Data 기반으로 자동으로 비교 검사하여 양/불 판정을 도출할 수 있습니다
Defect detection
개구부의 크기를 확대 및 축소하여 확인이 가능합니다.
기본 100%을 하고 있으며, 개구부 크기가 작을 경우 확대하여 자세히 확인이 가능하며, 반대로 개구부가 클 경우 축소하여 전체 개구부를 확인할 수 있습니다.
Process Management
1. 면적 분포도 (Area histogram)
→ 검사가 완료된 Metal Mask의 전 개구부에 대한 면적 분포도를 Histogram으로 표시하여 Metal Mask 면적에 대한 분포를 직관적으로 알 수 있다.
2. 위치 산포도 (Scatter diagram)
→ 검사가 완료된 Metal Mask의 전 개구부에 대한 위치 편차 분포도를 Diagram으로 표시하여 개구부 전체에 대한 위치 편차를 X/Y 축으로 알 수 있다.
